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為什么要用探針卡?
近年來半導(dǎo)體制程技術(shù)突飛猛進(jìn),超前摩爾定律預(yù)估法則好幾年,現(xiàn)階段已向32奈米以下挺進(jìn)。目前產(chǎn)品講求輕薄短小,IC體積越來越小、功能越來越強(qiáng)、腳數(shù)越來越多,為了降低芯片封裝所占的面積與改善IC效能,現(xiàn)階段覆晶(Flip Chip)方式封裝普遍被應(yīng)用于繪圖芯片、芯片組、存儲器及CPU等。上述高階封裝方式單價(jià)高昂,如果能在封裝前進(jìn)行芯片測試,發(fā)現(xiàn)有不良品存在晶圓當(dāng)中,即進(jìn)行標(biāo)記,直到后段封裝制程前將這些標(biāo)記的不良品舍棄,可省下不必要的封裝成本。
探針卡主要目的:
是將探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸,引出芯片訊號,再配合周邊測試儀器與軟件控制達(dá)到自動化量測的目的。探針卡應(yīng)用在IC尚未封裝前,針對裸晶系以探針做功能測試,篩選出不良品、再進(jìn)行之后的封裝工程。因此,探針卡是IC制造中對制造成本影響相當(dāng)大的重要制程之一。